第728章 只有材料的进度最迅速……（1 / 2）

  哪怕是拥有诸多支持，拥有大量的资源，研製光刻机依旧是困难重重。

  他指著光学系统，说道：“duv光刻机需要由15-20个直径200-300mm的透镜组成的透镜组；

  euv光刻机则需要由20多块“锅底大”的镜片串联组成的反射系统。

  镜面表面起伏要求极其严苛，如30cm长的镜子起伏不超过！”

  “这一项技术，目前在国內，还没有能实现。”

  “更別说对光学元件进行原子级精度的拋光和高精度镀膜……”

  郭汝京一想到这些完全没有储备的技术，就觉得头脑发热。

  单一研製光刻机的国家，基本不存在。

  而现在，紫晶工厂要做的，就是突破这全球的限制，完全依赖国內的厂家，或者自身研製，造出一台光刻机来！

  “的起伏……这，郑稳都摸不出来吧？”蒋新松有些咋舌。

  “嗯，我已经联繫了国內几家光学顶尖的实验室，諮询了一番，但暂时还是没有消息。”郭汝京指著上面任务里的备註，写著正在求助，待攻克。

  蒋新松理了理头绪，然后看向运动模块，问道，“工件台与掩模台的进度，怎样了？”

  “精密运动与定位系统啊……”郭汝京又点开另一个模块，面露难色的说道：“情况也不太妙啊！”

  他一一点开里面的详细任务，这个蒋新松倒是不需要他的解释，就完全能看懂。

  製造能够在高速运动下（如扫描曝光）实现亚纳米级定位精度的双工件台系统。