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显影,刻出微米级迷宫

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紫外光束亮起又马上熄灭,全程不到一秒。

  主控台前的倒计时归零,整个洁净室静然一片。

  “完了?”化工所的李教授瞪着布满血丝的眼睛,哑着声音问,“这才多大点功夫,是不是机器断电了?”

  在老一辈科研人员的认知里,就是去照相馆洗个相片,那也得在暗室的显影液里泡上半天。

  这造最先进的芯片,曝光连眨眼功夫都不到,完全违背了他们积累几十年的常识。

  “没断电,曝光已经完成。”林振正色回应,抬了抬下巴指着气浮工件台,“把硅片取出来,送去显影室。”

  李教授没敢叫旁人,自己套上厚重的防酸橡胶手套,抓起一把定制的绝缘镊子。

  他这把老骨头平时端满杯的热水都不洒一滴,现在捏着镊子的手却止不住的发抖。

  这六英寸的单晶硅片,是国家勒紧裤腰带花天价外汇换回来的无价之宝。

  如果因为他取片的手法重了导致报废,他拿命都赔不起。

  他小心把硅片夹进培养皿。

  在众人注视下,硅片表面光洁平整,肉眼看不出半点异样。

  “林总师,这上面啥也没有啊。”耿欣荣凑近看了看,小声咕哝。

  魏云梦站在林振身侧,道:“光刻胶发生的是分子层面的光化学反应,你用肉眼当然看不出来。”

  从光刻机到隔壁显影室只有十几步路。

  李教授端着培养皿,步子迈得又重又慢。

  他走得极为庄重,生怕自己带起的微风吹进灰尘,毁了林振亲手画在上面的两千个晶体管版图。

  显影室的防爆玻璃实验台上,摆着几瓶刚调配好的药水。

  玻璃瓶上贴着红纸标签,用毛笔工整写着“K1型显影液-绝密”。

  这是林振给出的配方,化工所的人熬了好几个大夜,经过反复提纯才弄出来的心血。

  李教授拿起玻璃滴管,吸了小半管显影液。

  他的手又开始抖了。

  他咽了口干涩的唾沫,强行压住腕子的颤动,把显影液轻柔的滴在硅片正中央。

  透明的药水在硅圆片上缓缓散开。

  围在旁边的十几双眼睛全瞪得老大,连大气都不敢喘,目不转睛的盯着培养皿。

  一秒、两秒、十秒……

  二十秒过去了,硅片表面连个气泡都没冒出来。

  “怎么没反应?”材料所所长满头大汗,声音又重又急。

  李教授的腿有些发软,他扶着实验台的边缘,哑着声音自责:“是不是我刚才显影液滴的量不够?还是咱们调配的K1药水浓度差了火候?这片硅不会是废了吧?”

  他心疼国家的外汇,眼眶直接红了。

  大家心里七上八下,冷汗直冒。

  林振迈步走近,温润开口:“别急,再等等。我们用的这款光刻胶属于负性胶,显影原理是利用溶剂把没被紫外光照射到的部分溶解掉,留下发生交联反应的曝光区。化学键断裂重组,需要时间。”

  他抛出的这套理论,对现在的科研人员来说就是降维打击。

  大家听不懂交联反应的具体机制,可出于对林振毫无保留的信任,原本躁动恐慌的情绪逐渐被安抚下来。

  又过了整整三十秒。

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