空气里全是“拦路虎”

“这……这怎么可能？”

　　负责操作的研究员，看着显微镜下的景象，整个人都傻了。

　　为了这次实验，他们已经做了最充分的准备。

　　整个房间，在实验前，用消毒水和酒精，擦洗了三遍。

　　所有的实验人员，都换上了白大褂，戴上了口罩和帽子。

　　在他们看来，这已经是他们能做到的，最干净的环境了。

　　可结果，依旧如此。

　　消息传到801项目组的每日例会上，所有人一下子没了声音。

　　“我去看过现场了。”

　　化工所的负责人，一个五十多岁的老教授，一脸的无奈。

　　“我们用高倍显微镜观察了一下，发现落在硅片上的灰尘，尺寸从几微米到几十微米不等。”

　　他顿了顿，说出了一个更令人绝望的数据。

　　“而我们第一代光刻机，要加工的线宽，是10微米。”

　　换言之，空气中随处飘荡的一粒微小灰尘，它的尺寸，就可能比他们要制造的整个电路，还要大。

　　“这些灰尘，落在硅片上，就像在高速公路上，扔了一块大石头。”

　　林振替他做了总结。

　　“如果是在光刻胶下面，它会导致光刻胶凸起，曝光失真，形成针孔。”

　　“如果是在光刻胶上面，它会挡住光线，导致下面的光刻胶无法曝光，形成断线。”

　　“无论是哪一种，结果都是灾难性的。”

　　“我们甚至还没开始跑，就已经被这些看不见的拦路虎，给绊倒了。”

　　一个年轻的研究员，沮丧的说道。

　　“问题出在哪里？”

　　林振问道。

　　“问题出在……空气。”

　　老教授苦笑着回答。

　　“我们现在才明白，我们平时呼吸的，看似洁净的空气，对于微米级的半导体制造来说，到底有多脏。”

　　“我们缺少一套，能够有效过滤空气中微小颗粒，并且维持室内环境高度洁净的系统。”

　　“也就是林总师您之前说的，洁净室。”

　　所有人的目光，再次聚焦到林振身上。

　　又是林振。

　　似乎所有他们遇到的，想不通，解决不了的难题，林振早就已经预见到，并且给出了答案。

　　“我这里，有一套洁净室的设计方案。”

　　林振不想卖关子，他让耿欣荣把早就准备好的图纸，分发给众人。

　　“这套方案的核心，是三个东西：分区、正压、和过滤。”

　　林振指着图纸，开始讲解。

　　“首先，是分区。”

　　“我们要把整个实验区域，按照洁净度的不同，划分为不同的等级。比如，百级区，千级区，万级区。”

　　“越是核心的操作，就要在越高等级的洁净区里进行。人员和物料，必须按照规定的流线，单向流动，不能交叉，不能逆行。”

　　“其次，是正压。”

　　“我们要让洁净室内的气压，始终高于室外的气压。这样一来，空气就只会从室内往室外流，室外那些‘脏’空气，就流不进来了。”

　　“最后，也是最关键的，是过滤。”

　　林振在图纸上，画出了一个巨大的风机和复杂的管道系统。

　　“我们要用强大的风机，把室外的空气，抽进来。然后，让这些空气，通过一个由高效空气过滤器组成的过滤墙，把里面99.99%的灰尘，都过滤掉。”